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確定石英坩堝的尺寸(或體積大小)取決于晶體生長的直徑和長度，同時(shí)也要考慮到拉晶工藝對坩堝、晶徑比的要求?？傮w竭、晶徑比以3:1為宜。這是因?yàn)樗苯优c熔液接觸，在熔硅與石英坩堝的反應(yīng)產(chǎn)生sio之后，它向熔體表面擴(kuò)散，并同時(shí)向熔體內(nèi)部揮發(fā)性，終有一部分到達(dá)固一液相界面附近，并與生長中的晶體相混合，從而增加單晶中氧的含量。采用更大的渦粒比和晶粒比，可使氧大量揮發(fā)。所以，在拉伸成直徑為80mrn，長度為7.000mm硅單晶的情況下，我們確定增渦直徑中224mm，高190mm。
根據(jù)石英的力學(xué)性能，生產(chǎn)氧化鋁坩堝的廠家有：抗壓強(qiáng)度8004一8500(WCkg/cm2)，抗拆強(qiáng)度710一1040(200Ckg/cm')，抗彎強(qiáng)度700一1100(200Ckg/cml)，抗扭強(qiáng)度304一600(20cckg/cml)，因此，我們選用柑桔的厚度為4mm的柑桔，以便能夠承受12Kg以上的錫料。為使單晶生長到底部時(shí)仍能保持原來的枯度、晶徑比(3:I)，并盡量減少坩堝中的殘余物，從而提高單晶的成品率和回收率，決定采用平底柑塌技術(shù)。它的外形尺寸和形狀如圖1所示。使用球底琳A時(shí)，在保證竭、晶徑比(3:1)的前提下，竭、晶內(nèi)剩料將超過平底琳禍?zhǔn)Ｓ嗔?，這對提高單晶的成品率和回收率是不利的。
上面是石英坩堝的尺寸和形狀的確定方法，下面就讓我們一起來學(xué)習(xí)吧！
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